Мехатронный модуль точных перемещений двухкоординатного столика с биморфными пьезоэлектрическими актюаторами

Санкт-Петербургский политехнический университет, Санкт-Петербург

136 стр.

Ключевые слова

пьезоэлектрические актюаторы