Методы контроля однородности распределения электрофизических параметров монокристаллического кремния с использованием автоматизированной аппаратуры с мини-ЭВМ

Москва

20 стр.

Методы контроля однородности распределения электрофизических параметров монокристаллического кремния с использованием автоматизированной аппаратуры с мини-ЭВМ — Кудин, Анатолий Владимирович — 1986 — Российская библиотека диссертаций