Микроструктурная неоднородность и термическая стабильность пленок a-Si : H и сплавов на его основе

Москва

191 стр.

Ключевые слова

термическая стабильность материалов

Микроструктурная неоднородность и термическая стабильность пленок a-Si : H и сплавов на его основе — Сазонов, Андрей Юрьевич — 1997 — Российская библиотека диссертаций