Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда

Омск

154 стр.

Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда — Худайбергенов, Гамзат Жапарович — 2003 — Российская библиотека диссертаций