Моделирование и исследование характеристик кремниевых чувствительных элементов микромеханических акселерометров

ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники» ; Диссовет Д 212.134.XX (24.2.342.03), Москва

145 стр.

Моделирование и исследование характеристик кремниевых чувствительных элементов микромеханических акселерометров — Йе Ко Ко Аунг — 2024 — Российская библиотека диссертаций