Модификация поверхностных слоев кремния высокоинтенсивными ионными пучками

Москва

200 стр.

Ключевые слова

кремний, ионные пучки

Модификация поверхностных слоев кремния высокоинтенсивными ионными пучками — Троицкий, Вячеслав Юрьевич — 1996 — Российская библиотека диссертаций