Модификация структуры и свойств аморфного кремния при ионной имплантации и отжиге

Нижний Новгород

128 стр.

Модификация структуры и свойств аморфного кремния при ионной имплантации и отжиге — Хохлов, Дмитрий Александрович — 1997 — Российская библиотека диссертаций