Нанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний

Санкт-Петербург

162 стр.

Нанесение коммутационных и антидиффузионных слоев на силициды переходных металлов и кремний — Соломкин, Федор Юрьевич — 1997 — Российская библиотека диссертаций