Обложка работы «Обоснование и разработка прецизионного способа двухстороннего шлифования свободным абразивом пластин кремния большого диаметра». Автор: Яковлев, Сергей Петрович. Степень: Канд. наук. Год: 2001

Обоснование и разработка прецизионного способа двухстороннего шлифования свободным абразивом пластин кремния большого диаметра

Москва

170 стр.

Обоснование и разработка прецизионного способа двухстороннего шлифования свободным абразивом пластин кремния большого диаметра — Яковлев, Сергей Петрович — 2001 — Российская библиотека диссертаций