Обоснование и разработка способа прецизионного химико-механического полирования пластин кремния большого диаметра для СБИС субмикронного уровня
Чуканов, Сергей Владимирович, 1998, кандидатская диссертация
Москва
181 стр.
Другие работы по этой специальности
- Физико-технологические основы формирования гибридных наносистем "наностержни оксида цинка - коллоидные квантовые точки"
Рябко, Андрей Андреевич · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»
- Нанокомпозиты, полученные внедрением наночастиц и коллоидных квантовых точек в пористые полупроводниковые матрицы
Белорус, Антон Орестович · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»
- Атомно-молекулярный дизайн наноструктурированных материалов и нанокомпозиций : синтез, контроль технологии, свойства и применение
Спивак, Юлия Михайловна · 2022 · Докт. наук · ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»
- Исследование и разработка технологии формирования джозефсоновских переходов для криогенных параметрических усилителей
Москалев, Дмитрий Олегович · 2022 · Канд. наук · ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)»
- Исследование и разработка нанотехнологических методов создания джозефсоновских переходов для многокубитных схем
Пищимова, Анастасия Александровна · 2022 · Канд. наук · ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)»