Образование структур дефектов на поверхности полупроводников под действием мощного лазерного излучения

Москва

101 стр.

Ключевые слова

дефекты, поверхность полупроводников

Образование структур дефектов на поверхности полупроводников под действием мощного лазерного излучения — Шлыков, Юрий Геннадьевич — 1997 — Российская библиотека диссертаций