Оптические методы в определении функциональных свойств пленок фоторезистов при производстве БИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : специальность

Воронеж

16 стр.

Оптические методы в определении функциональных свойств пленок фоторезистов при производстве БИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : специальность — Чуриков, Анатолий Алексеевич — 1987 — Российская библиотека диссертаций