Оптимистические и электрофизические свойства аморфных пленок нитрида и оксинитрида кремния переменного состава

Баку

147 стр.

Оптимистические и электрофизические свойства аморфных пленок нитрида и оксинитрида кремния переменного состава — Баширов, Мусавер Забит оглы — 1992 — Российская библиотека диссертаций