Оптимизация режимов магнетронного осаждения пленок оксидов металлов для устройств функциональной микроэлектроники

Москва

148 стр.

Оптимизация режимов магнетронного осаждения пленок оксидов металлов для устройств функциональной микроэлектроники — Фартушная, Вера Михайловна — 1996 — Российская библиотека диссертаций