Особенности микродефектов в монокристаллах кремния, выращенных по методу Чохральского, выявляемые методом диффузного рассеяния рентгеновских лучей

Москва

131 стр.

Ключевые слова

микродефекты; монокристаллы кремния

Особенности микродефектов в монокристаллах кремния, выращенных по методу Чохральского, выявляемые методом диффузного рассеяния рентгеновских лучей — Зотов, Николай Михайлович — 1997 — Российская библиотека диссертаций