Особенности процесса переноса внедряемых ионов и атомов отдачи при имплантации в твердые тела

Минск

147 стр.

Особенности процесса переноса внедряемых ионов и атомов отдачи при имплантации в твердые тела — Шлотцхауер, Геральд — 1984 — Российская библиотека диссертаций