Оценка параметрической надежности танталовых тонкопленочных резистивных элементов ИС

Минск

14 стр.

Ключевые слова

резистор, интегральные схемы, пленки тантала в радиоэлектронике

Оценка параметрической надежности танталовых тонкопленочных резистивных элементов ИС — Борздов, Владимир Михайлович — 1986 — Российская библиотека диссертаций