Получение аморфных и микрокристаллических тонкопленочных материалов а-Si1-x C x : H, μ c-Si : H исследование свойств пленок и приборных структур на их основе

Санкт-Петербург

163 стр.

Ключевые слова

тонкопленочные материалы

Получение аморфных и микрокристаллических тонкопленочных материалов а-Si1-x C x : H, μ c-Si : H исследование свойств пленок и приборных структур на их основе — Мавлянов, Равшан Каршибаевич — 1996 — Российская библиотека диссертаций