Получение и исследование эпитаксиальных пленок твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x, и поверхностно-барьерных структур на их основе

Дагестанский государственный университет, Махачкала

112 стр.

Ключевые слова

эпитаксиальные пленки твердого раствора, поверхностно-барьерные структуры

Получение и исследование эпитаксиальных пленок твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x, и поверхностно-барьерных структур на их основе — Рамазанов, Шихгасан Муфтялиевич — 2015 — Российская библиотека диссертаций