Повышение вакуумных и фрикционных характеристик механизмов с твердосмазочным покрытием на основе дисульфида молибдена для вакуумного технологического оборудования

Другие работы по этой специальности

1. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства

   Хаханин, Сергей Юрьевич · 2000 · Канд. наук

   • 05.27.07
2. Разработка методического и приборного обеспечения испытаний радиоэлектронных средств на акустические воздействия

   Короленко, Елена Викторовна · 1999 · Канд. наук · Московский государственный институт электронной техники

   • 05.27.07
3. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров

   Семин, Юрий Федорович · 1998 · Канд. наук

   • 05.27.07
4. Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частиц

   Угольников, Сергей Викторович · 1998 · Канд. наук

   • 05.27.07
5. Разработка методов расчета и конструирования манипуляторов для чистых производственных помещений

   Меркушев, Олег Михайлович · 1997 · Канд. наук

   • 05.27.07