Применение метода эллипсометрии для исследования физико-химических процессов на поверхности карбида кремния

Ленинград

150 стр.

Применение метода эллипсометрии для исследования физико-химических процессов на поверхности карбида кремния — Лаухе, Юрген — 1977 — Российская библиотека диссертаций