Проектирование и изготовление микроэлектромеханических переключателей на подложках GaAs для СВЧ диапазона

Физико-технологический институт Российской академии наук (ФТИАН), Москва

127 стр.

Проектирование и изготовление микроэлектромеханических переключателей на подложках GaAs для СВЧ диапазона — Щаврук, Николай Васильевич — 2015 — Российская библиотека диссертаций