Процессы массопереноса и кинетики роста при выращивании монокристаллов карбида кремния из паровой фазы

Ленинград

199 стр.

Процессы массопереноса и кинетики роста при выращивании монокристаллов карбида кремния из паровой фазы — Райхель, Франк — 1982 — Российская библиотека диссертаций