Радиационные дефекты в имплантированных слоях кремния п-типа и их воздействие на диффузию сурьмы и мышьяка

Минск

105 стр.

Радиационные дефекты в имплантированных слоях кремния п-типа и их воздействие на диффузию сурьмы и мышьяка — Оскар Хосе Араика Ривера — 1993 — Российская библиотека диссертаций