Расчет технологических режимов и выбор параметров оборудования для формирования островковых тонких пленок в вакууме

Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва

193 стр.

Расчет технологических режимов и выбор параметров оборудования для формирования островковых тонких пленок в вакууме — Сидорова, Светлана Владимировна — 2016 — Российская библиотека диссертаций