Разработка физико-химических основ получения эпитаксиальных слоев нитрида алюминия и твердых растворов на его основе

Москва

25 стр.

Разработка физико-химических основ получения эпитаксиальных слоев нитрида алюминия и твердых растворов на его основе — Добрынин, Андрей Витальевич — 1986 — Российская библиотека диссертаций