Разработка и исследование технологических режимов газофазной гетероэпитаксии тонких слоев кремния на сапфире с улучшенными характеристиками

ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники», Москва

184 стр.

Разработка и исследование технологических режимов газофазной гетероэпитаксии тонких слоев кремния на сапфире с улучшенными характеристиками — Федотов, Сергей Дмитриевич — 2019 — Российская библиотека диссертаций