Разработка и исследование технологии осаждения многокомпонентных стекловидных пленок методом ВЧ-магнетронного распыления со смещением для БГИС АПОИ 4-5 поколений

Омск

217 стр.

Разработка и исследование технологии осаждения многокомпонентных стекловидных пленок методом ВЧ-магнетронного распыления со смещением для БГИС АПОИ 4-5 поколений — Перелыгин, Игорь Захарович — 1992 — Российская библиотека диссертаций