Разработка интегральных термосенсоров на основе монокристаллической кремниевой фольги и исследование их характеристик

Москва

144 стр.

Разработка интегральных термосенсоров на основе монокристаллической кремниевой фольги и исследование их характеристик — Зиновьев, Дмитрий Валерьевич — 1999 — Российская библиотека диссертаций