Разработка конструктивно-технологических методов создания высококачественных изделий кремниевой микроэлектроники

Воронеж

377 стр.

Разработка конструктивно-технологических методов создания высококачественных изделий кремниевой микроэлектроники — Нисков, Валерий Яковлевич — 1997 — Российская библиотека диссертаций