Обложка работы «Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов». Автор: Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич. Степень: Докт. наук. Год: 1997

Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов

Москва

279 стр.