Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов
Кривоспицкий, Анатолий Дмитриевич, 1997, докторская диссертация
Москва
279 стр.
Другие работы по этой специальности
- Разработка и исследование схемотехнических SPICE-моделей MOSFET и JFET-транзисторов с учетом тепловых эффектов
Исмаил-Заде, Мамед Рашидович · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»