Разработка процессов формирования диэлектрических пленок и микроэлектронных систем для интегральной электроники

Махачкала

272 стр.

Ключевые слова

формирование диэлектрических пленок

Разработка процессов формирования диэлектрических пленок и микроэлектронных систем для интегральной электроники — Саркаров, Таджидин Экберович — 2002 — Российская библиотека диссертаций