Разработка системы совмещения установок и гибких производственных модулей электронной проекционной литографии для производства СБИС с субмикронным размерами элементов

Другие работы по этой специальности

1. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства

   Хаханин, Сергей Юрьевич · 2000 · Канд. наук

   • 05.27.07
2. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров

   Семин, Юрий Федорович · 1998 · Канд. наук

   • 05.27.07
3. Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частиц

   Угольников, Сергей Викторович · 1998 · Канд. наук

   • 05.27.07
4. Разработка методов расчета и конструирования манипуляторов для чистых производственных помещений

   Меркушев, Олег Михайлович · 1997 · Канд. наук

   • 05.27.07
5. Моделирование аэротермодинамических процессов в чистых помещениях при производстве интегральных схем

   Терещенко, Анатолий Михайлович · 1996 · Докт. наук

   • 05.27.07