Разработка технологии газофазного эпитаксиального роста кремниевых структур в условиях сильного автолегирования

Москва

174 стр.

Разработка технологии газофазного эпитаксиального роста кремниевых структур в условиях сильного автолегирования — Томашевски, Яцек — 1988 — Российская библиотека диссертаций