Разработка теоретических и экспериментальных основ вакуумных процессов в квазизамкнутом объеме и их применение в микроэлектронике

Другие работы по этой специальности

1. Исследование и разработка методов устранения структурных дефектов в полуфабрикатах кремниевых интегральных схемах

   Пекарев, Александр Ильич · 1984 · Докт. наук

   • 05.12.18
2. Явления переноса нелетучих продуктов на поверхность кремния и диоксида кремния при плазмохимическом травлении

   Юдина, Нина Кирилловна · 1984 · Канд. наук · Московский ин-т электронной техники

   • 05.12.18
3. Исследование нестабильности параметров логических ИС при внешних воздействиях с целью прогнозирования их отказов

   Егоров, Валентин Федорович · 1984 · Канд. наук · Ленинградский электротехнический институт имени В. И. Ульянова (Ленина)

   • 05.12.18
4. Методы проектирования мощных СВЧ транзисторов с учетом электродинамических эффектов близости

   Евстигнеев, Андрей Семенович · 1984 · Канд. наук · Московский институт радиотехники, электроники и автоматики

   • 05.12.18
5. Самоформирование микроструктур в технологии изготовления интегральных схем

   Навицкас, Ромуальдас Болевич · 1984

   • 05.12.18