Развитие емкостных методов измерения профилей легирования полупроводниковых структур

Санкт-Петербург

155 стр.

Развитие емкостных методов измерения профилей легирования полупроводниковых структур — Уткин, Алексей Борисович — 1999 — Российская библиотека диссертаций