Развитие физико-химических принципов оценки влияния поверхностной энергии на свойства материалов и процессы для технологии микроэлектроники

ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники», Москва

299 стр.

Развитие физико-химических принципов оценки влияния поверхностной энергии на свойства материалов и процессы для технологии микроэлектроники — Бокарев, Валерий Павлович — 2020 — Российская библиотека диссертаций