Самоорганизация многослойных металлургических структур для контактных систем суб-100 нм КМОП ИС

Москва

171 стр.

Самоорганизация многослойных металлургических структур для контактных систем суб-100 нм КМОП ИС — Хорин, Иван Анатольевич — 2002 — Российская библиотека диссертаций