Сильноточный импульсный магнетронный разряд с автоускорением плазмы

Национальный исследовательский ядерный университет, Москва

135 стр.

Ключевые слова

сильноточный импульсный магнетронный разряд, автоускорение плазмы, катодная фольга конденсаторов - покрытие нитридом титана

Сильноточный импульсный магнетронный разряд с автоускорением плазмы — Щелканов, Иван Анатольевич — 2011 — Российская библиотека диссертаций