Синтез металлических и сверхтонких окисных пленок на поверхности полупроводников методами химического охлаждения из газовой фазы

Ленинград

216 стр.

Синтез металлических и сверхтонких окисных пленок на поверхности полупроводников методами химического охлаждения из газовой фазы — Галеева, Луиза Хамитовна — 1982 — Российская библиотека диссертаций