Совершенствование технологии изготовления изопланарных и эпипланарных структур путем повышения их устойчивости к дефектообразованию

Москва

22 стр.

Совершенствование технологии изготовления изопланарных и эпипланарных структур путем повышения их устойчивости к дефектообразованию — Пейдус, Игорь Викторович — 1986 — Российская библиотека диссертаций