Стабилизация структурно-примесных и электрофизических свойств системы Si-SiO 42 0 в производстве кремниевых микросхем

Москва

417 стр.

Стабилизация структурно-примесных и электрофизических свойств системы Si-SiO 42 0 в производстве кремниевых микросхем — Зайцев, Н. А. — 1994 — Российская библиотека диссертаций