Структура и электрические свойства легированных пленок поликристаллического кремния, полученных методом молекулярно-лучевого осаждения

Нижний Новгород

141 стр.

Структура и электрические свойства легированных пленок поликристаллического кремния, полученных методом молекулярно-лучевого осаждения — Шенгуров, Дмитрий Владимирович — 1998 — Российская библиотека диссертаций