Структура и свойства пленок металлов и полуметаллов, полученных методом частично ионизированного потока с высокой эффективностью ионизации

Черноголовка

136 стр.

Структура и свойства пленок металлов и полуметаллов, полученных методом частично ионизированного потока с высокой эффективностью ионизации — Кононенко, О. В. — 1994 — Российская библиотека диссертаций