Струйные ВЧ плазмотроны в процессах нанесения покрытий в условиях динамического вакуума

Казань

506 стр.

Струйные ВЧ плазмотроны в процессах нанесения покрытий в условиях динамического вакуума — Кашапов, Наиль Фаикович — 2001 — Российская библиотека диссертаций