Свойства пленок SIO2, осаждённых в высокочастотном газовом разряде на кремнии

Рига

187 стр.

Свойства пленок SIO2, осаждённых в высокочастотном газовом разряде на кремнии — Бекерис, Юрис Янович — 1985 — Российская библиотека диссертаций