Технологии микропрофилирования и формирования контактных систем для микроприборов на основе нитридов III группы

С.-Петербургский государственный электротехнический университет, Великий Новгород

155 стр.

Технологии микропрофилирования и формирования контактных систем для микроприборов на основе нитридов III группы — Желаннов, Андрей Валерьевич — 2018 — Российская библиотека диссертаций