Технология гетерогенного синтеза диэлектрических пленок на поверхности кремния в реактивной газовой среде с управляемым ионным облучением

Каунас

18 стр.

Технология гетерогенного синтеза диэлектрических пленок на поверхности кремния в реактивной газовой среде с управляемым ионным облучением — Пранявичене, Гене Бонифацовна — 1986 — Российская библиотека диссертаций