Теоретическое и экспериментальное исследование процесса термического окисления кремниевых структур

Воронеж

142 стр.

Теоретическое и экспериментальное исследование процесса термического окисления кремниевых структур — Злотникова, Ирина Яковлевна — 1995 — Российская библиотека диссертаций