Теоретическое и экстремальное исследование процесса термического окисления кремниевых структур

Воронеж

18 стр.

Теоретическое и экстремальное исследование процесса термического окисления кремниевых структур — Злотникова, Ирина Яковлевна — 1995 — Российская библиотека диссертаций